二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #293593150 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一种快速热处理器（RTP），用于制造半导体器件、薄膜和纳米技术等应用。这种设备使用氮气或干氧的气氛在高温下快速加热样品。该系统提供先进的过程控制,传感器遍布整个腔室,用于监视关键参数,如温度、压力和气体流速。AST Helios采用开载平台设计，配有4英寸单晶圆伺服盘，允许整个腔室均匀传热。STEAG Helios可以实现低至十秒的热循环时间，使得多个样品能够同时快速准确的处理。它利用屏蔽的内衬和外衬防止材料污染和排出气体。Helmios还使用了预热、无反应性的石英室，以改善热均匀性和表面附着力。此单元提供从室温到1050°C （292°F）的精确温度控制,精度高达± 1°C ± 1.8 °F）。用户最多可编程40种散热配方，最多可访问5种设置点的实时模式操作并保持时间。该机还设有一个通用控制器界面，旨在支持大多数半导体行业软件平台，并具有14英寸显示屏和直观易用的图形用户界面。Helios的设计采用集成过程监控反馈系统和高达4.5 Torr的真空额定值。它还具有0.02 Torr/min的极低压力上升速率，允许更精确的配方开发。MATTSON Helios还提供先进的安全功能,例如在紧急情况下停止整个工具的切断开关。STEAG/MATTSON/AST Helios因其特性、灵活性和快速加热能力，是半导体加工应用的绝佳选择。它能够处理复杂的过程，提供对温度和压力的精确控制，并得到全球领先的半导体技术研究中心的认可。