二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #293593160 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速热处理器,非常适合焊接、模具粘合和环氧固化等制造工艺。该系统能够在几秒钟内施加功率和温度调节,为关键的装配过程提供卓越的速度、准确性和灵活性。AST Helios是一种单晶片光刻处理器，带有机械臂，可以将基板移入和移出腔室。室内充满惰性气体，如氮气，以维持低氧环境。此外，一系列车载传感器密切监视环境温度和压力，并允许进行精确调整。为了开始加工，晶圆被放置在腔内，然后机械臂被移动到所需的位置。设置监控温度和压力设置,然后激活精确电阻加热器。此过程允许在基板上均匀加热并产生可重复的结果。STEAG Helios处理器非常适合需要快速热处理的各种流程。例如,在焊接过程中,基板通常会暴露在高达350°C的温度下几秒钟。这可以用Helios处理器通过快速冷却和加热基板来实现,实现快速、准确和可重复的焊接过程。该系统还可用于模具粘合和封装等固化应用。一系列红外发射器可以用来快速加热和固化一层环氧树脂，同时在整个底物上保持均匀的温度。总体而言,MATTSON Helios是一款出色的精确散热处理器。它非常适合焊接、模具粘合和环氧固化等关键组装工艺，以及快速热退火等其他短期工艺。机载传感器、快速散热能力和精确加热器可在整个基板上提供统一的加热和温度控制,并确保可重复、准确和可靠的结果,使制造商在高容量、高精度生产时安心。