二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #293624124 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一种用于半导体制造的快速热处理器（RTP）。该装置用于在处理过程中快速均匀加热半导体元件，如晶体管和电路板。该装置利用感应炉快速均匀加热部件。其先进的热剖面控制提供快速、均匀的加热，以维持所需的温度控制。AST Helios还有一个内置的注气设备，用于氮气、氙气和氢气，允许快速控制大气控制。该装置最高温度为1250摄氏度，在晶片上提供均匀加热。这提供了一个平滑和均匀的热梯度横跨基板。它具有均匀的斜坡上升和冷却速率，可以更好地控制热循环。该系统提供动态温度控制,可达到的最大坡度速率为每秒350°C。这样可以快速热处理元件,而不会损坏元件。STEAG Helios能够在处理过程中测量和记录数据点。它还有一个综合数据采集单元，允许在整个过程中持续监测。该数据采集用于保证晶片的最佳均匀性和温度控制。该设备配备了各种各样的用户友好控制,从基本的"一键式"操作到全方位的电源、时间和温度控制功能。MATTSON Helios还包括许多高级功能,如多个设定点、警报功能、操作员访问控制和"FAF-Trace"（柔性非对称填充）功能。后者允许机器动态地调整热斜坡的参数，从而可以根据晶圆的特定要求量身定制工艺。Helios既通用性又易于使用。它专为易于操作而设计,其直观的控制允许快速验证和过程设置。该设备与大多数现代半导体处理设备兼容，允许高度集成和自动化处理。总体而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款有效的快速热处理器,旨在满足当今半导体制造工艺的需求。其快速加热性能和先进的热控制能力提供了现代半导体工业所需的精度和多功能性。