二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9211046 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速热处理器（RTP），旨在实现高速、高可重复性和低成本热处理。它通过一系列高功率卤素灯、石英电极和可调加热器快速控制给定样品的温度。AST Helios利用先进的数字控制器来设置所需的温度配置文件,并确保样品暴露于精确和一致的温度下。该控制器使用PID（比例、积分和导数）算法，使机器能够非常精确地调整样品的温度。STEAG Helios可以处理尺寸达70 x 85mm的样品，最高温度范围为30至1400 °C。它能够达到高达2000 °C的温度，但这是通过定制的烤箱附件完成的。RTP具有多种预先编程的设置,可快速获得复杂的温度配置文件。利用特殊的热控室快速改变样品的设定温度。通过控制气体流入样品室内，用户可以在短时间内获得准确的结果。此外，Helios允许快速的样品装卸。它有一个特殊的传输阶段，可以处理多达6个具有上述样品大小的晶片。此阶段提供了示例的自动加载和卸载,从而减少了用户所需的干预量。MATTSON Helios的高温精度、快速的温度循环、可调的温度范围使其成为退火、烧结、扩散、聚酰亚胺蚀刻等众多工艺的理想工具。它的自动化加载和易于使用的界面使它能够在工业和研究实验室中使用。总之，STEAG/MATTSON/AST Helios是一种高度精确和可重复的RTP。其用户友好的设计和多用途的特性使其非常适合各种热处理应用。