二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9228858 待售

STEAG / MATTSON / AST Helios
ID: 9228858
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速热处理器(RTP),专为各种样品类型的高通量、大容量处理而设计。它具有低循环时间和对热过程的精确控制,使其成为光伏、LED、高压电子、无源和有源器件制造以及许多其他应用的理想工具。AST Helios RTP的工作原理是将样品均匀加热和冷却至预定温度。样品架被高精度石英红外加热带和水冷敏感器包围,允许精确的温度控制和快速的响应。感光器充当样品支架和石英红外加热带之间的绝缘层,确保样品支架及其内容物的均匀加热。STEAG Helios RTP具有用户友好的自动化和较低的设备复杂性。它的垂直设计可以方便地接触样品支架,并且设备本身配备了几个用于气体或真空连接的端口。此外,RTP能够存储多达64种配方,允许用户快速准确地重复流程。MATTSON Helios RTP是一个高度精确可靠的系统,温度均匀度为+/-1 °C,坡道速率为750°C/minute。其12千瓦的高额定功率保证了快速的热过程,并通过特殊的补偿算法确保了其可重复性。该机组还配备了多项安全功能,包括过温防护、紧急停车和电源监视器。总而言之,Helios是高通量应用的理想散热处理器。其精确的温度控制、较低的机器复杂度和先进的安全特性,使其成为一种非常可靠和可重复的工具,使其成为各种制造工艺的绝佳选择。
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