二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9241199 待售

ID: 9241199
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Rapid Thermal Processor (RTP), 12" 2006 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一种快速热处理器,既用于通用处理,也用于专用应用。它能够在短时间内将材料快速加热到高温,同时提供准确的温度分布。AST Helios利用各种射频发电机和开关设备以恒定或编程速率快速加热到精确温度并循环运行。利用热电偶和光发射光谱对过程进行监测,以确保达到正确的温度。为进一步提高精度,采用导热陶瓷镜反射射频发生器产生的红外辐射。精确的温度控制加上高热通量速率,使得STEAG Helios处理材料的速度比其他许多热处理方法都快。这样可以缩短周期时间并提高吞吐量。此外,还可用于低温活化退火、扩散结合和扩散涂层等工艺。Helios的模块化设计允许定制配置,使其能够广泛应用,包括半导体制造、微电子制造和催化表面修改。它的控制系统也是高度可定制的,使用户能够用不同材料的配方来编程定制的加工配方。MATTSON Helios还配备了额外的安全功能,以确保设备及其组件的安全运行。这些功能包括过温和过流安全系统、紧急停止按钮和高温保护系统,以便在过温情况下关闭射频发电机和开关设备。STEAG/MATTSON/AST Helios是那些需要高精度和高质量处理的人的理想解决方桉。它的模块化设计和可定制性使其非常适合广泛的应用。此外,其严密的温度控制和高热通量使其成为最有效的快速热处理器之一。
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