二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9255871 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一款快速热处理器（RTP），为半导体器件制造提供高温加热解决方桉。RTP能够在几分钟内快速改变基板的温度,从环境温度变为设定的最高温度。它的工作原理是利用基于辐射的基板加热，在波长范围内进行优化，以有效地产生所需的温度。RTP也可用于基板的退火处理，因为它能够在整个基板上产生温度剖面。AST Helios设备由三个部件组成：微波发电机、微波天线和反作用室。发电机包含将电力转换为微波所需的组件，然后从天线辐射到反应室中。在反应室内，有一组石英反射器将微波聚焦在基板上，调节基板的能量吸收。石英反射器以减少非均匀能量吸收的方式排列，在整个基板上提供均匀的温度轮廓。为了精确控制温度,STEAG Helios系统配备了自动温度控制器.这会自动调整微波发生器的功率，以维持所需的温度。该机组还使用质量流控制器控制加热气体的流量进行冷却。这样可以快速冷却基板,从而防止设备过热和热损坏。Helios机器是一种高度可靠和高效的快速热处理器。它能够在整个基板上提供均匀的温度分布，是电子设备快速热退火的理想选择。此外，其精确的温度控制和高效的冷却使制造商能够以高效和经济高效的方式生产高质量的设备。