二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9256880 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一种快速热处理器（RTP），设计用于半导体晶圆的精密热处理。它利用短脉冲微波、分级激光器或等离子体加热来快速有效地执行热工程如快速热退火（RTA）、氧化和沉积等设备製造。AST Helios RTP专为研发和批量生产而设计,具有灵活可靠的温度控制功能,适用于各种温度,具有很高的可重复性。STEAG Helios RTP采用平面石英高强度灯技术,采用水平金属卤化物灯提供超高速热处理,能够提供强烈的带外光谱,从而加快处理速度。它还具有可变角度反射器，将光引导到晶圆上。反射器角度的调整允许用户将灯轮廓与晶圆位置和晶圆高度匹配，以获得最大的均匀性。MATTSON Helios配备了先进的热控制设备,以确保整个晶圆的精确温度均匀性。热管理系统包括红外温度传感器、温度反馈回路和快速作用温度控制器。对于快速热硝化（RTN）等强烈热过程，Helios还具有温度过冲保护功能，以确保操作员的安全。此外，利用多波长测量技术进一步优化了工艺性能，该技术使用晶片上仪器连续监测两个波长。这确保了在整个过程中对温度设定点的精确控制。STEAG/MATTSON/AST Helios还具有用于控制晶圆大气的集成气体输送装置。它支持各种气体进行氧化、沉积和退火过程，并且可以修改以满足客户的要求。AST Helios还提供各种配件,使客户能够定制其流程。这些附件包括晶圆旋转、臂伸展、成像系统以及温度和气体监测系统等。所有这些功能为客户提供了无与伦比的灵活性和卓越的流程性能。总之，STEAG Helios是一种高度先进的快速热处理器，设计用于半导体晶片的高通量和精确热处理。MATTSON Helios结合了超快的加热速率、精确的温度控制和灵活的气体输送机,为各种热过程提供了卓越的工艺性能。