二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270883 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一款快速热处理器（RTP），提供高速、精确的温度控制。AST Helios采用对流、电阻加热和通过辐射冷却来快速加热和冷却晶片的组合。它具有三个独立可控的腔室，允许更快的温度处理样品。采用具有智能微处理器控制逻辑的专利氮化物加热元件，STEAG Helios能够在最小的超调和热CAE时间内实现精确的热性能。MATTSON Helios旨在提供统一、可重复的温度配置文件,以实现最先进的设备制造所需的高精度。温度曲线的准确性和均匀性以发射辐射中可光学检测的电阻模式为后盾。此外，太阳神能够精确的温度超调控制。STEAG/MATTSON/AST Helios可通过直观的软件界面进行编程,它还提供多种波形选择,用于加热和冷却周期,以适应不同的设备类型。AST Helios旨在提供快速的加热和冷却时间，以最大程度地减少晶圆表面的热应力。此外,STEAG Helios利用内部风扇提供良好的空气循环和冷却性能。MATTSON Helios具有节省空间的设计,并且可以轻松安装在狭窄的空间中,使其成为研发和生产环境的理想选择。Helios的设计也使得它的维护相对较低，并且可以方便地进入腔室进行维护。总体而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款功能强大且紧凑的快速散热处理器,可在各种环境中提供可靠、精确的温度控制。AST Helios是研发和生产环境的理想选择,可确保精确的温度剖面和降低晶圆的热应力,使其成为精密设备制造的重要工具。