二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270998 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一种快速热处理器（RTP），设计用于小批量小批量加热和冷却晶圆样品。这种RTP设备由四个部件组成：一个低压室、一个炉组件、一个电场调制器和一个大气压力变化系统。低压室提供温度控制和干燥的密封气氛。炉的组装使晶片样品能够均匀、快速地加热和冷却。它由多个加热和冷却的加热器组成,这些加热器由样品的背板隔开以形成温度曲线。这允许精确的温度控制和分布在样品上。电场调制器用于改变晶圆在样品上的电场，以调节电子-空穴密度比。这样可以确保对样品应用均匀热处理。最后，大气压力变化装置能够精确控制腔室压力，从而准确控制冷却或加热过程。AST Helios能够在不到2分钟的时间内达到120-1000摄氏度的温度。利用其SmartMonitor软件，用户能够对多个处理配方和负载进行编程，以及直接或远程监控流程进度。此外,STEAG Helios还具有多种安全功能,旨在保护用户和样品。其中包括惰性气体填充连接、室内强制空气冷却、温度报警器和烟雾检测机。MATTSON Helios RTP工具具有多种优点,例如快速处理、样品温度接近均匀性、安全性增强和精确控制。这种快速热处理器可用于半导体、材料研究、工艺开发、器件制造等多个行业。