二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273940 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款先进的快速热处理器发动机，专为半导体行业设计，以提供更好的性能。它能够提供高热均匀性横跨晶片和不同的温度扮演一个单一的路线图。AST Helios还提供卓越的晶圆吞吐量和高可重复性以及紧密的工艺利润。STEAG Helios使用高功率2000 W辐射加热源和冷却冲洗技术为基板提供快速热处理。它还包括独特的专利冷墙设计，以消除基板和加工室壁之间的干扰效应。这大大缩短了使用时间,并缩短了周期时间。Helios有一个令人印象深刻的控制系统,它利用数字热控制消息总线（DTM-Bus）和预测热控制消息传递（PTM）。这允许对所有重要过程参数进行精确的闭环控制，并为快速热处理设定了新的标准。它还配备了先进的故障管理系统和先进的过程参数监控等一系列复杂的诊断。MATTSON Helios还具有开放式系统架构、内置安全联锁、综合紧急停车等一系列改进的安全功能，以确保在任何时候都能最大程度地安全。总体而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款出色的快速散热处理器,具有先进的技术和尖端的设计。它允许以经济高效的方式提高晶圆吞吐量和高可重复性，并为RTP、WTL、退火、氧化、扩散等SiC工艺应用提供可靠、灵活、安全的解决方桉。