二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273943 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速热处理器,旨在支持各种温度过程,如退火、氧化物、氮化物和扩散。这一行业领先的工具为热过程提供了精确的热控制、精确的温度均匀性和快速的循环时间。它还提供灵活的编程选项,能够保存和召回多个流程步骤的配方,以及允许快速配置设置的直观界面。AST Helios配备了几个先进的特性，使其具有卓越的温度均匀性和控制力。采用两级加热系统，分别控制加热器功率，采用多种控制算法保证温度的精确控制。加热元件对温度波动也有很高的耐受性，并给出了广泛的可重复剖面。STEAG Helios还采用了集成的压力控制压力室，使其能够快速达到高温，并确保整个晶圆的温度分布均匀。它还具有温度传感器和能够承受高达1000C的温度的压力室。该系统以更短的过程时间和更高的精度执行快速热循环,从而提高了过程的可重复性。它还对晶圆进行实时热成像和象限监测，使用户能够观察和监测过程的进展。Helios利用高级数据收集、信号采集和控制软件,使系统能够通过网络进行远程监视和控制。此软件允许在不中断过程的情况下轻松远程修改热循环。MATTSON Helios无疑是市场上最坚固可靠的快速热处理器之一。其出色的温度控制和均匀性,以及快速的周期时间和灵活的编程选项,使其成为热过程的首选。