二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9275252 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款先进的快速热处理器，用于热退火和晶圆处理。它以先进的技术为基础，实现了高温度均匀性和大、小特征的高速率退火。处理器为离散零件和晶片提供了广泛的退火温度和快速吞吐量。AST Helios附有6 "X 6"的热区，可以加热直径达300 mm的晶片。STEAG Helios的创新设计使任何材料都能有效退火。其强大的直接加热技术通过精密的工艺控制，产生卓越的温度均匀性。先进的温控设备确保预选区域温度准确一致，退火工艺更加高效均匀。MATTSON Helios还提供快速热处理，最大坡道速率高达1000 °C/秒。这增加了单个热循环的过程速度和周转时间。此外，系统还配备了多种工艺监控系统，如实时晶圆监控、高级温度剖析、疲劳测试等。其他功能包括可靠的冷却单元、用于控制退火过程的专用软件以及自动对齐机。Helios还有一个集成的氮气/氦气净化线选项，它能够更快地预热，保护敏感材料免受氧化和污染。它带有一个内置的保护和安全工具，以防止晶圆的过度处理。STEAG/MATTSON/AST Helios设计为易于维修,即使经常使用。弹性可用性和高资产正常运行时间是AST Helios的其他优势。所有这些特性使STEAG Helios成为任何热处理应用的理想选择。