二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281781 待售

ID: 9281781
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2004 vintage.
STEAG/MATTS/AST Helios是一款先进的快速热处理器(RTP),专为生产和研究应用而设计。它能够在短时间内加热样品,温度略高于850°C,精度和精确度为毫秒。该设备配备了全自动控制设备,能够以高度统一的方式实现可重复的结果。AST Helios RTP带有先进的两区加热设计,允许每个区独立运行。这使得在加热过程中实现更高程度的均匀性和精确度成为可能。这两个管子中的每一个都包含一个坚固的石墨绝缘基体和一根钨丝,允许改进热性能。为了提高可靠性,系统配备了精密的反馈回路和控制单元,允许非常快速的响应和精确的温度调节。STEAG Helios RTP还具有先进的热氧化机,允许材料的高通量和低温氧化。该工具专门为需要高速率氧化过程的应用而设计,例如半导体器件的生产。它也非常适合其他需要精确热控制的工艺,包括快速晶体生长和薄膜沉积。Helios RTP包括先进的多光谱成像资产,允许精确监测和控制样品温度和氧化态。此模型可以与其他软硬件系统结合使用,允许用户将热过程优化到他们的特定应用。MATTSON Helios RTP专为洁净室应用而设计,为运行进程提供了非常安全的环境。这包括高度的环境控制,以及防止有害的静电和静电排放。这也允许改进对热过程的控制,以及增加设备寿命。总体而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款先进可靠的散热处理器。它具有很高的性能和准确性,非常适合各种高科技热处理应用。
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