二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281783 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一款用于集成电路制造的快速热处理器（RTP）。AST Helios用于在集成电路制造过程中快速升高或降低晶片或基板上的温度。此过程称为热处理。STEAG Helios配备了微米精度的顶点对准设备，使其能够快速达到每个基板所需的温度，确保精确的结果。这对于集成电路制造很重要，因为它确保基板上的每个平台都达到相同的设定点温度，这对于高效、准确的设备制造至关重要。太阳神利用直接气体加热和等离子体处理相结合，达到温度目标。直接气体加热系统使MATTSON Helios能够将超过10,000瓦的热能传递到晶圆上，使其快速达到设定的温度点。等离子体处理使STEAG/MATTS/AST Helios在整个晶圆中达到均匀的温度，这在制造和连接集成电路时很重要。AST Helios有3个主要部分：温度控制单元、加热室和气体输送单元。温度控制单元监控并保持温度水平，提供200 °C至1000 °C的温度范围，精度± 5.5°C。加热室用于将晶片置于指定的热能之下，以达到所需的温度水平。气体输送机被用于向腔室提供特殊气体，如氮气、氦气和氙气。STEAG Helios还配备了一种称为加热毯子的辅助加热工具。这种资产利用热气体循环通过工艺室，提供绝缘外部影响。同时，加热的毯子还有助于降低工艺室在温度快速变化时所承受的应力和应变。Helios为集成电路制造商提供了一种高精度、高效的热处理模型,可减少缺陷并缩短工艺时间。这导致了客户的高度满意度,使其成为任何集成电路制造设施的重要组成部分。