二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #293639177 待售

ID: 293639177
晶圆大小: 6"
Rapid Thermal Processor (RTP), 6" 1995-1996 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS 2000快速热处理器是对多种材料进行热处理的高度精确的设备。处理器由多种组件组成,它们以复杂、微调的方式协同工作,以达到预期的效果。处理器具有单一的自动加载程序,可简化基板加载和卸载过程。此功能最多可容纳12个石英晶片,直径可达8英寸。晶片以旋转配置排列,提供了一种快速高效的装卸方法。处理器还具有用于进行热处理的两区多区腔室。两区室设计为提供一致的温度和均匀的加热和冷却,消除任何不希望的波动。多区腔室提供了将不同温度应用于基板的不同部分的选项,从而可以对结果进行更大程度的控制。处理器还使用射频调谐灯或LED灯为正在处理的基板提供必要的热源。该灯由可调节直流电源供电,可根据应用程序的需要进行专门定制。处理器还能够通过温度控制系统监控基板的确切温度和热过程的确切参数。温度指示器和数据记录器用于提供此功能,允许用户查看精确的数据。最后,处理器有一系列的安全功能来保护使用者、基板和机器本身。这包括过度温度保护,它监视和控制基板的温度,以确保它不超过所需的温度限制。还有一个紧急停止按钮,允许在紧急情况下立即关闭机器。除了这些功能外,处理器还使用专有软件和直观的用户界面来实现高效准确的操作。所有这些结合在一起,创造出高效可靠的快速散热处理器,能够产生一致、高质量的结果。
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