二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #9155403 待售

STEAG / MATTSON / AST SHS 2000
ID: 9155403
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Rapid thermal processor systems (RTP), 6" 1996 vintage.
STEAG/MATTS/AST SHS 2000是一种快速热处理器(RTP),旨在帮助半导体制造商高效生产高质量的半导体晶圆。利用强大的红外灯和喷气系统快速热处理晶片表面。快速热处理是半导体生产中的一个重要步骤,用于在晶圆上创建不同的加工状态。AST SHS 2000是一个模块化RTP系统,可以针对不同的需求进行优化。它由灯柜、过程控制模块和冷却框架组成。各种灯可供使用者为其製程选择最合适的能量范围和功率需求。过程控制模块可确保准确、可重复的热斜坡、浸泡和冷却剖面,从而创造理想的加工条件。风扇速度可调节的内置冷却框架有助于快速降低晶圆表面温度。机器也很容易操作。它使用带有触摸屏的专有图形用户界面(GUI),用于快速、精确的参数和设置调整。GUI还在不牺牲质量的情况下最大限度地提高了吞吐量速度。此外,STEAG SHS-2000提供了较低的维护成本和部件可用性,这有助于确保长期的可靠性和成本效率。MATTSON SHS 2000是一种高效、经济高效的半导体制造商解决方桉,旨在快速、准确地处理中小型晶片。其易用性、低维护成本和模块化设计使AST SHS-2000简化半导体生产的绝佳选择。
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