二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293770992 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800是一款先进的快速热处理器,为半导体晶圆加工中的精密温度控制提供领先技术。这种多功能设备非常适合各种应用,从原型设计到批量生产。AST SHS 2800配有触摸屏控制操作系统,可轻松配置和监控设备的温度状况。这个用户友好的界面允许用户根据精确的标准建立精确的温度坡道和轮廓。此外，显示屏实时更新工艺参数，便于精确监控和调整。这可以让用户进行精确的温度坡道调整，以满足特定的加工需求。STEAG SHS-2800采用了一些最先进的快速热处理技术。该机采用大型多通道温度控制器，具有三个独立的PID环路，用户可以同时控制多个加热单元。此外，集成的气流控制可以防止散热，因为散热会损坏晶片，同时能够精确控制温度。STEAG/MATTSON/AST SHS-2800支持先进的晶圆处理能力，从反应性离子蚀刻到激光退火，温度在0至1000度C之间。它还设计用于各种基板，包括硅、玻璃和石英。STEAG SHS 2800专为各种工业应用而设计,具有易于使用的触摸屏操作工具,便于设置和监控。它具有坚固的晶圆载体和自动晶圆处理资产，满足了半导体行业对清洁的严格要求。为了安全和简单起见,SHS-2800具有高温热感应单元、封闭的气体配电管线和内置的安全功能。红外热成像模型还允许对设备进行连续监测，并具有先进的数据记录功能。简而言之，AST SHS-2800是一种先进的快速热处理器，在半导体晶圆加工过程中采用精确的温度控制设计。它的多渠道温度控制器、用户友好的界面和先进的数据记录功能使用户能够轻松、精确地进行控制,而其强大的温度能力使其适合各种工业应用。