二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293813733 待售

STEAG/MATTS/AST SHS 2800是一种工业级快速热处理器（RTP），用于包括研发、生产、测试/维修等多种微电子应用。AST SHS 2800设计用于在各种温度范围内提供精确、可重复的热控制,从而能够制造高质量、高性能的微型设备。STEAG SHS-2800能够进行快速热退火（RTA）、快速热掺杂活化（RTDA）、快速热氧化（RTO）、快速热扩散（RTD）、快速热硝化（RTN）、快速热硝化/氧化（RTNO）和快速热氢化（RTH）。配备集成基板温度监测系统和多区温度控制。它能够在-75至+650°C的温度范围内，最大斜坡速率为15°C/s。STEAG/MATTSON/AST SHS-2800具有晶圆载波的多种选项,具有用户定义的均匀热接触接触力。这些载体可用于直径不超过200毫米的各种基材。MATTSON SHS-2800还配备了200W的石英卤素灯,用于样品加热.该系统还配备了多种气体输送选项，允许精确控制气体输送，并使用用户定义的模式进行精确的过程控制。STEAG SHS 2800包括一个气体溷合器模块,每个模块最多可同时输送5种气体和完全由用户定义的气体溷合物。SHS 2800还包括一个可选的图形用户界面（GUI），允许对所有工艺参数进行精确监控。它提供了工艺参数的实时图形,包括温度和气体成分剖面。它还提供了一个自动晶圆加载/卸载系统，在过程结束时自动关闭。SHS-2800提供对所有工艺参数的精确实时控制以及热和气结果的数据记录。它专为便于操作和维护而设计,并安装在100级洁净室框架中,以实现最佳的安全性和可靠性。总体而言，AST SHS-2800是任何需要精确热控制和均匀性的微电子应用的理想选择。其用户定义的工艺参数和范围广泛的温度使得能够制造高质量、高性能的微型设备。