二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #9096061 待售

STEAG/MATTS/AST SHS 2800是一款先进的快速热处理器（RTP），专为晶圆和基板的快速精确热处理而设计。它是用于快速热退火和快速热氧化过程的最先进的工具。AST SHS 2800允许在具有精确控制太阳能条件的统一系统中快速热处理。每个腔室都有两个独立的温区，可以用任何想要的组合来编程，可以达到2400 °C的最高温度。STEAG SHS-2800的独特设计防止了交联，限制了粒子产生的影响，为敏感基板提供了额外的保护。该工具配备了一系列先进的诊断能力，使其能够精确、精确地测量晶圆温度、气流和腔内压力等变量。它的设计还具有一系列安全功能，有助于防止潜在危险并确保安全运行。MATTSON SHS 2800每小时最多可处理200 300 mm或400 200 mm晶圆，确保快速周转。它还具有一个单晶片给药平台，确保晶片加热一致，并消除热失控。此外，该工具为基板提供了卓越的精度，需要精确的温度控制和均匀性。SHS 2800 Rapid Thermal Processor通过先进的诊断和安全功能确保快速的热处理,确保安全有效的操作。它提供了特殊的过程均匀性,最高温度为2400 °C,并且可以防止潜在的危害。最后，单晶片配料平台确保了整个基板加热的快速通量和一致性。