二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E / 2800 CS #9179203 待售

STEAG/MATTS/AST SHS 2800E/2800 CS是一种多区域快速热处理器（RTP）。这种设备被设计用来利用能量丰富的红外等离子体快速加热，冷却，退火，否则加工晶片。它是为生产环境而制造的高度精确可靠的设备。其离子植入兼容设备即使是最复杂的结构，也能以精确的方式快速处理。处理器的多区域设计包含三个独立的加热、表面冷却和冷却区域。每个单独的区域都配有固态继电器，允许高速和均匀的温度循环。加上处理器控制器的快速处理速度，这些特性提供了高效的热处理序列执行。AST SHS 2800E/2800 CS的轴向淋浴头系统是处理器的关键特性。它利用高速强制空气对流单元在大小晶片上实现高度均匀的热剖面。强制空气对流机还与透明石英屏蔽相结合，以便在加工过程中最小化晶片上的背面电荷堆积。STEAG SHS 2800E/2800 CS还具有多种内置安全功能,包括自动关闭和连续、低级、实时的过程环境监控。这些功能确保处理器在既定的安全准则内安全运行。除了热处理能力外，SHS 2800E/2800 CS还兼容多种添加剂加工必需品，包括气体输送、激光切片等等。该处理器可用于多种过程，包括PEDOT： PSS、复合半导体产品的缓冲层等。MATTSON SHS 2800E/2800 CS是一种高性能、多区域RTP,可提供可靠和可重复的结果、高效、低成本的操作和高速热循环。这种多用途的设备非常适合各种应用,并且可以快速高效地处理各种晶圆配置。