二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092862 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor是用于在极端温度下处理晶圆和其他半导体基板的专用设备。该设备包含两个主要部件：一个腔室和一个消散器。腔室是一个具有内部护罩的耐真空双壁腔室，有助于将集中的热量漏斗到基板上。耗散器是由九个加热元件组成的阵列，这些元件被单独编程以产生高达1200摄氏度的温度。加热元件的严密控制及其快速响应，使AST SHS 2800E同类产品中用途最广泛的机器。STEAG SHS 2800E主要用于半导体制造，用于快速热退火、扩散和杂质植入。利用其最先进的热循环控制设备，即使对工艺参数或晶片进行了修改，也可以精确地执行多达九个循环。这种温度控制精度使得SHS 2800E多硅门激活、金属互连形成和SOI器件加工等复杂工艺步骤的理想设备。机器还包含一个小的、可移动的平台，这样晶圆就可以快速轻松地放置在基板上。此外，还有先进的蒸发器控制系统，允许真空室内多次蒸发。此外，还将一个实时诊断单元集成到该单元中，以提供有关工艺参数、温度、气体压力和基板温度的详细反馈。MATTSON SHS 2800E体积小巧，并配有一个内置的空调机，用于室内的优化冷却。该装置的总工艺速率高达每小时200晶圆，效率极高，是半导体制造的理想选择。它还配备了用户友好的控制工具，易于编程和理解，使其成为工业和研究实验室的绝佳选择。综上所述,STEAG/MATTS/AST SHS 2800E快速散热处理器是市场上最可靠、效率最高的机器之一。它具有高精度温度控制和多循环编程功能，是晶圆处理应用的理想选择。