二手 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092863 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E快速热处理器是一种热处理设备,专为广泛的工业和研究应用而设计。适用于加工直径达6英寸、最大厚度0.2mm的晶片。它包含一个由一对能提供高达1100 °C温度的炉加热的单室。这些炉位于腔室的上方和下方，以便在整个基板上提供均匀的加热。该系统还具有精确的温度控制，具有高热均匀性、高坡道率柔韧性、广泛的加工气体和广泛的加工压力范围（50 mbar C）。它还有一个综合气体管理单元，有四条能运载九种不同气体的气体管线。该单元是自动化的，可以用多个配方编程，以最大限度地提高效率。该机器配备了一个自动舱口装卸工具和一个晶片处理资产，每个进程运行最多30个晶圆。它还具有用于样品表面双视图的过程监视器。此外，该型号还具有先进的安全功能，可保护人员、设备和基板在操作过程中免受潜在损坏。其中包括对所有安全设备部件的自动监控、过温报警、氮气入口和出口流量探测器，以及强大的真空控制器。热处理系统通过分布式控制单元PROCO Plus Interface与最终用户软件通信。这允许用户使用2800E的集成图形用户界面监视实时进程,并设置程序以从远程位置运行晶圆进程。AST SHS 2800E Rapid Thermal Processor是一种用于高温加工和晶圆级制造的先进机器。它提供均匀一致的加热基板，具有出色的温度控制，以及可靠的安全功能，以保护人员，单位和基板。适用于许多工业和研究应用，可以用自动运行的配方进行编程。