二手 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293794331 待售
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STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF是一种快速热处理(RTP)设备,旨在提高各种工业和消费产品的质量和性能。该产品适用于生产闪存、IC、光电器件等纳米技术产品。该装置采用了一种创新的单水平级热技术,设计用于可靠和精确的退火和快速热处理(RTP)应用。该设备采用高功率的400毫米石英灯组,具有易于安装的灯泡支架和高效的折射镜设计。电力控制灵活、可编程,允许自动化系统运行。内部PID控制器提供精确的温度控制,设备还配备了安全联锁装置。该装置还包括一个热传递板,设计用于提供大小样品的均匀加热和冷却。RTP过程依赖于在短时间内产生和传递热能。AST SHS-2800SF具有强大的对流控制室和用于精确热处理的真空系统。它有两个加热区(上部和下部),有单独的温度设定点,使热处理速度快速准确。上部加热区配有可调节长度的红外灯,可提供整个样品的均匀温度分布,而下部加热区则覆盖有一块板,以实现均匀冷却。该设备还采用多通道斜坡和稳态温度剖面。它可以提供可编程的斜坡速率和保持时间,RTP过程所需的时间可以精确设定和监控。另外,通过有源温度反馈系统保持温度精度。该装置还具有节能功能,可减少因过度加热或频繁启动/关闭而造成的能量损失。STEAG SHS-2800SF是一种先进的RTP设备,为各种制造工艺提供精确可靠的热处理。该机具有强大的对流控制室、可调节长度的红外灯、多通道轮廓和节能功能,是精密精密制造的绝佳工具。
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