二手 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293815994 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF快速热处理器（RTP）是一种功能强大且用途广泛的工具,旨在为各种电气、光子和光电设备提供精确的温度控制。AST SHS-2800SF由一个具有两个独立的高速温度控制级的电子控制器组成。初级阶段提供均匀的快速加热和冷却,精度高达10°C,响应时间为3-10秒。该阶段旨在支持快速热退火（RTA）、扩散、氧化和硅化等过程。二级提供快速冷却，响应时间为4-15秒，冷却速率高达1000 °C/秒。该温度控制级设计用于支持快速热氮化物和快速热氧化等过程。STEAG SHS-2800SF包括先进的基于热电偶的温度控制,提供可实时监控的精确温度读数。该系统还支持单发和连续的流程周期，允许可重复和一致的流程。控制器封装在密封的氮气清洗柜中，提供额外的温度稳定性和控制水平。风冷气闸提供额外的一层保护，允许基板在保持腔室大气的同时往返RTP。MATTSON SHS-2800SF为精确的温度控制过程提供了强大而通用的解决方桉。它具有加热和冷却均匀的精确控制温度的能力，其先进的温度控制系统提供了可重复和一致的过程。这种高性能仪器是各种电气、光子和光电器件的工艺开发和生产的宝贵工具。