二手 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #9238081 待售

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ID: 9238081
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Rapid Thermal Processor (RTP), 8" Implant annealing AST Super heat system Hardware configuration: Main frame (2) ASYST Indexers 2200 Handler system: PRI Robots Process chamber Aligner Rough pump (AA40): Left Heat exchanger (SMC Chiller): Right 1997 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processor是一种专用设备,用于在微观尺度上促进材料的精确、可靠和可重复的修改。该工具是针对需要快速回火和精确控制热环境的各种过程的优化解决方桉。该设备提供多种功能,使其成为各种应用程序的理想解决方桉。为样品快速热内部通电而设计的谐振频率驱动器最大程度地减少了整个样品的预热时间。一旦达到所需温度,精确的温度控制可确保样品保持在精确的目标。热循环参数可以从一秒到四千秒以一秒为增量设置,从而可以对热历史轮廓进行精细控制。该装置还设有一个隔离真空和气体控制室,用于保护大气处理。这为样品提供了一个孤立的环境,保护其免受外部污染,并控制样品空间中任何反应性或非反应性气体的浓度。为了进行维修,舱门上的透明窗户允许直接目视检查样品,同时在需要时提供进入舱室的通道。AST SHS-2800SF快速散热处理器能够处理大小不超过12英寸的晶片。该设备配备了安全报警监控设备,有助于在出现任何不安全情况时提醒用户。此外,处理器的内置冷却系统有助于保持单位温度稳定并减少停机时间。总体而言,STEAG SHS-2800SF快速热处理器是许多行业和研究实验室的高效可靠的工具。它具有静电真空室和精确的温度控制,可以对材料进行高效和可重复的修改。此外,其高效的冷却机和安全报警监控工具使其成为用户在微观尺度上快速修改材料的安全、可靠和有效的方法。
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