二手 STEAG / MATTSON / AST SHS #9119657 待售

ID: 9119657
Rapid Thermal Processor (RTP) No computer / Internal cards Power: 400 V, 43 kW.
STEAG/MATTS/AST SHS是一款先进的快速热处理器,旨在提供半导体制造中方便、精确的温度控制、准确的温度监控和可靠的热控制。与传统的热处理相比,此产品减少了加工时间,提高了产量,并降低了能源成本。这种快速热处理器用于面板加热和冷却、模具固化和二极管激光电路开发的高速功能。热处理器支持半导体制造中使用的四种标准温度中的任何一种,温度范围从-30°C到250°C。其标准循环时间为1秒,温度分辨率为0.01 °C。本产品具有精确的温度控制功能,可在许多过程条件下轻松配置,包括快速冷却。该产品具有出色的动态过程控制和专有的脉冲宽度调制(PWM)技术,可减少温度过冲并最小化热梯度,从而确保产品的最佳参数。处理器包括多项安全功能,包括安全联锁系统以确保该过程在指定的安全温度范围内运行,以及用于连续监测散热器温度的热电池。这还包括一个自动故障安全功能,可在温度过高/电压条件下停止热循环。该产品采用坚固的材料和耐用的结构,以帮助抵御恶劣的制造环境。凉爽的温度空气通过双循环风扇循环,以冷却产品并保持安全的温度水平。其嵌入式计算机提供操作控制、记录、显示和分析关键过程参数以进一步优化,而警报、通知和警告可用于操作监控和系统维护。该产品还包括用于生成热循环参数通用配置文件、创建自定义加热和冷却例程以及监控面板热配置文件图像的软件。这样可以有效地操作热过程,从而提高产品的质量。此外,本产品还配备了直接逻辑I/O,具有更高的安装灵活性,并且可以与线路中的其他计算机无缝连接以进行数据传输。AST SHS具有多种多样的特点和最先进的热工艺控制,是半导体制造和生产的理想热处理器。
还没有评论