二手 STEAG / MATTSON / AST SHS #9192433 待售

STEAG/MATTSON/AST SHS是一种强健、高性能的快速热处理器（RTP），设计用于半导体器件生产。它能够快速加热和冷却基板，主要用于批量晶片的加工和小型设备的生产运行。AST SHS处理器是利用四热区快速热退火（RTA）技术的三室大气压RTP。每个腔室设有四个独立控制的加热区，用于精确的温度控制。每个区域的温度可以独立调整到所需设定点的+/-0.01°C以内，从而可以在整个基板上进行精确的温度控制。STEAG SHS还利用高速气道流来保证高效的热性能和均匀性。热区和冷区均可调节流量。MATTSON SHS的整体设计由几个阶段组成。其中包括一个腔室、预热器、区域加热器、冷却容器、气体出口和两个加热区源。该腔室设计用于提供基片的受控热循环，并被红外吸收器包围，以最大限度地提高热效率。预热器用于快速加热基板，然后在区域加热器中加工。Zone Heater是一个四区系统，可以调整以适应广泛的温度范围，从-150摄氏度到+100摄氏度。冷却贮器有助于基板的均匀冷却，而气体出口则提供快速的气流以实现均匀冷却。两个热区源从腔内提供精确的温度控制。SHS能够在批量运行或生产运行中运行,并配备软件以简化任何系统参数的编程。STEAG/MATTSON/AST SHS的用户界面简单易用,并提供了多种图形表示,便于视觉反馈。还可以使用手动和自动模式,从而简化流程的操作。此外，AST SHS还具有内置的安全系统，以确保在加工过程中对人员和基板的完全保护。STEAG SHS是生产各种集成电路的理想选择，从小型设备到大型数字半导体。通过其独特的技术和用户友好界面的结合，它提供了高效和可靠的热处理。