二手TEL / TOKYO ELECTRON(快速退火/快速热处理)待售

TEL(东京电子有限公司)是半导体和平板显示器生产设备的领先制造商。在其产品中,TEL生产的快速热处理器(RTP)广泛应用于半导体行业。RTP是一种热过程,快速加热和冷却半导体晶片,以方便芯片制造过程中的各种步骤。TEL的快速热处理器比传统的基于熔炉的系统有几个优点。首先,它们提供精确、均匀的加热,使工艺参数得到更好的控制,从而提高晶圆质量和器件性能。其次,RTP提供了更短的过程时间,减少了总体生产时间并提高了吞吐量。此外,它们是高度可定制的,使工艺工程师能够针对不同的材料和设备结构优化设置。TEL快速热处理器的一个例子是Alpha-8S-ZAR。该型号具有先进的温度控制和加热均匀性,保证了良好的工艺重复性.它采用多区灯设计,在晶圆表面进行高效、均匀的加热。此外,它还提供了卓越的温度升高和冷却速率,从而加快了处理时间。TEL的快速热处理器,包括Alpha-8S-ZAR,在工业上被广泛用于快速热退火、化学气相沉积、氧化等制造过程。它们的先进能力和高性能使它们成为半导体制造商在实现精确高效热处理方面的热门选择。

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