二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #293717550 待售

TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200
ID: 293717550
晶圆大小: 6"-8"
Rapid Thermal Annealing (RTA) system, 6"-8".
TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200是一款高性能快速热处理器,专为需要精确度和准确性的经验丰富的科学家和技术人员设计。此工具使用户能够以最快的速度和效率快速处理和传输信息。TEL 5BAO-200由四个部分组成:一个锥形热处理室、一个石英安全壳、一个负载锁单元和一个控制设备。腔室是经过优化的热处理区,具有独特的底部加热设计。这样可以确保整个样品的热交换和均匀性最大化。弹性体垫片密封侧室,以防止污染物和蒸气。石英容器提供额外的绝缘和保护,以防止温度和压力的变化所造成的损害。负载锁单元效率高,可使腔室快速、轻松地打开密封,不受污染。WAFERMASTERS 5BAO-200的控制系统旨在方便直接的数据输入和用户定向参数调整。数字流量控制器、温度控制器和其他自动化层提供了简单高效的加热和冷却周期。处理器还具有数字控制面板和触摸屏控件,便于使用。此面板还允许用户监视当前的温度、压力和整体工艺条件。此外,与Windows和Linux系统兼容的软件允许用户控制和监视特定参数并接收实时反馈。除了令人印象深刻的控制单元外,5BAO-200还具有卓越的散热和机械性能。热均匀性保持在0.5°C的绝对精度和1.5°C的相对温度差。处理器还具有高达-50°C/min的大倾角速率,以便快速热处理。总体而言,TOKYO ELECTRON 5BAO-200是一种强大而高效的工具,旨在为科学家和技术人员提供最高水平的精确度和精确度。其优化的性能、用户友好的控制机器以及卓越的热力和机械性能,使其成为快速热处理的绝佳选择。
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