二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #293760423 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200快速热处理器是一种高速晶圆处理设备，为处理大量晶圆提供了快速、可靠和经济的手段。此自动化系统采用创新设计,以减少硬件组件的数量并加快吞吐量,从而降低总体运营成本。TEL 5BAO-200利用开放式腔室改善热均匀性，并利用独立、独立、无风扇、对流冷却腔室降低功耗和增加正常运行时间。该设计还合并了多个带顺序装卸的盒式磁带，装填位置使用半自动化单元从盒式磁带中精确识别、定位和清除晶片。输送机利用两个边缘输送机，在晶片两侧施加等压，机器人端点控制方便晶片精确对准定位。高科技自动化软件和控制系统用于使操作过程完全自动化,并能够为特定的过程步骤设置配方。所有设置数据和操作信息都存储在一个安全的远程数据库中,用户可以访问和监视所有流程数据。该工具还具有自动检测晶圆断裂过程中，允许实时报警。WAFERMASTERS 5BAO-200完全可编程,具有集成的开放访问平台,非常适合研发。此外,它还提供全面的PC控制和监控支持,以及用于精确过程控制的数据采集资产。总体而言，TOKYO ELECTRON 5BAO-200快速热处理器是高速晶圆加工的强大可靠型号。它具有先进的自动化、精确控制、坚固的材料设计和全面的安全功能,使其成为处理大量晶片的可靠且经济高效的解决方桉。