二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9227375 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200是一种快速热处理器（RTP）,可提供可靠的高性能来处理半导体晶片的热过程。利用具有多区能力的强制对流加热和冷却，获得精确的温度和均匀性控制。TEL 5BAO-200设计用于处理直径可达8英寸的大而重的晶片,并具有用于退火、重结晶和扩散等热处理应用的精确温度控制。它提供了多/双区选择的冷热晶片处理能力，用于精确控制每个晶片的表面温度。WAFERMASTERS 5BAO-200具有快速加热功能,对高达1400˚C的温度的响应时间仅为5毫秒。这种快速加热使得扩散、氧化和氮化等过程能够在传统方法所需时间的一小部分内完成。TOKYO ELECTRON 5BAO-200还提供快速冷却选项，冷却时间从1200˚C到室温仅12秒。该系统采用高级控制器,具有4x4多区域选项,可精确控制整个晶圆表面的温度。这允许精确的温度调整以优化热过程,以及跨多层材料的精确温度调整。这些特性可以使晶片得到更高精度和均匀性的处理。除了先进的温度控制外，5BAO-200还采用数字气流控制和涡轮式阀门，提供可重复的沉积物，而不会发生变化。这种气流控制增强了过程的重复性和重复性。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200还包括石英封装的自动晶圆传递机构。这允许高效的装卸，减少加工后的晶片对环境的暴露。这有助于将晶片的氧化或异物污染降至最低。TEL 5BAO-200是一款可靠且高效的快速散热处理器,旨在满足最高的行业标准。它提供了最新的先进的热处理技术，具有精确的温度控制，快速的加热和冷却时间，以及先进的数字气流控制。WAFERMASTERS 5BAO-200具有高质量的工程和坚固的结构，非常适合扩散、氧化和氮化等应用。