二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9144808 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP是半导体制造中用于晶圆加工的先进快速热处理器。它拥有获得专利的连续快速热处理（RTP）技术,使其能够在大量材料和基板上提供高精度热处理性能。TEL SRTF200-LP是一种温度范围在-25°C至1600°C的单卷载波系统，适用于多种工艺参数。它有一个独特的旋转快门设计，在热过程中交换晶片和高达15°C/秒的快速温度斜坡，给它一个快速的热过程溶液一样没有其他。它还配备了WaferVisionTM，这是一个先进的视觉系统，允许在晶圆传输过程中精确对准晶圆，在动态过程步骤中进行视觉监控。WAFERMASTERS SRTF200-LP还具有多种可选模块,可以添加这些模块以根据客户的特定流程需求定制系统。其中包括用于DEP、PECVD、CVD、ALD等层状材料加工的反应堆模块；用于将晶片提升到1200°C以上温度的敏感器加热器；一个石英机架，用于接收来自室内真空装载臂的晶片；以及用于精确晶片加载和定位的嵌入式激光干涉仪。TOKYO ELECTRON SRTF200-LP具有灵活性和高精度的热工艺控制功能,可实现完美的工艺对准和可重复性,同时还可轻松集成到高度自动化的系统中。它是需要精确、高效和可靠热处理的高科技行业的理想解决方桉。