二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9210339 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP是为满足半导体器件制造需求而设计的快速热处理器（RTP）。它提供了高流程可重复性和卓越的流程控制功能,使其成为各种生产环境中客户的有效解决方桉。TEL SRTF200-LP是一款LED灯型RTP，配备了直接驱动的大功率LED灯。LED灯具有宽广的工作波长范围和高均匀性,即使在较低的温度下也能更快地热处理晶片。该灯具有出色的光学特性，能够对处理时间进行严格控制，确保尽可能高的精度。为了优化温度均匀性，实现快速加热和冷却时间，WAFERMASTERS SRTF200-LP配备了基于Peltier元素的冷却设备。这种冷却系统有助于最大限度地提高整个晶圆温度曲线的均匀性，从而产生均匀且可重复的结果。SRTF200-LP还配备了SIEC-ON触摸屏界面,便于设备设置和操作。TOKYO ELECTRON SRTF200-LP配备了内置的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）机，可在晶圆表面上沉积各种材料。此工具提供了比标准CVD工艺更高的均匀性和更高的沉积速率。此外，其紧凑螺旋红外光源（CHIRS）资产提供了比标准窄线红外光源更高的沉积温度。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LP还包括一个原位晶圆测量模型，允许精确表征过程稳定性。这种测量设备带有多种分析功能，包括光谱、X射线扫描分析、扫描电子显微镜。除了这些功能外,TEL SRTF200-LP还提供机器控制选项,包括进程状态监视和数据日志记录。此RTP还具有多种安全功能,确保安全运行。为了保持最佳性能,WAFERMASTERS SRTF200-LP具有内置的过程监控系统,可根据产品寿命和过程时间的影响自动调整温度配置文件。总体而言,SRTF200-LP是一款出色的快速散热处理器,可提供可靠的性能和出色的过程控制。其高效的LED灯、卓越的温度均匀性、易于安装的单元以及内置的PECVD和CHIRS系统,使其成为客户在各种生产环境中的理想选择。