二手 ULVAC / RIKO MILA-5000 #9357190 待售

ULVAC/RIKO MILA-5000是快速热处理器（RTP）。它是为基板快速热处理而设计的一种工具，如半导体晶圆、燃料电池、光伏和显示器。RIKO MILA-5000能够实现高温处理，具有广泛的温度和加热速率。与其他系统相比,它能够在形状不均匀的基板上保持精确的温度范围和均匀的加热速度,运行时间更短,足迹更小。ULVAC MILA-5000可以在空气中达到高达1000 °C的温度，或者使用惰性气体大气时达到更高的温度。MILA-5000配备了强大、高效的加热设备，利用超小型、高功率感应加热线圈，能够提供+/-2°C范围内基板的温度均匀性。该系统允许以比传统系统更快的速度达到更高的温度，而不需要额外的加热元件。该装置还配备了一个独特的控制机器，用于精确控制温度剖面----这些控制系统允许根据所处理基板的均匀性要求定制温度剖面。ULVAC/RIKO MILA-5000是一个完整的工具,占地面积很小,主机箱外部的组件最少,功耗低。它设计用于快速循环，温度在几毫秒内达到1000 °C。其结构为长期加工提供了良好的温度稳定性，温度均匀度为+/-2°C。它还能够处理大的基板--高达300毫米--压力高达0.4Mpa，用于较高的温度或惰性气体大气处理。此外,此资产可以提供非常高质量的薄膜,并具有全面的可追踪性、数据记录和安全功能,以确保过程的一致性和可靠性。RIKO MILA-5000能够处理各种基材材料，如硅片、玻璃和金属、陶瓷等特种材料。其控制模型可以监测加工的温度、压力、气体流量等各种参数。它还提供了广泛的可自定义参数，如温度斜坡速率、压力、循环速率和大气选择。设备还配备了定制界面，允许对参数进行精确和用户友好的控制。这使得它成为氧化、退火、扩散等应用的绝佳选择。此外，ULVAC MILA-5000有一个全面的技术支持系统作为后盾，包括维护和校准服务，以确保该单位继续以最高性能运行。