二手 ULVAC RTA-0208S #9107274 待售

ULVAC RTA-0208S是一种快速热处理器（RTP）设备,其设计允许用户在单个沉积过程中处理各种类型的晶圆材料。该系统结合氮气和卤气，以提供均匀热分布和精确温度控制的快速热处理（RTP）。8英寸容量大,RTA-0208S能够快速处理多种尺寸的晶片。该RTP单元配备了20-1100 °C的腔室温度，以及有助于确保均匀处理温度的三点温度倾斜补偿单元。ULVAC RTA-0208S的主要特点之一是具有高温性能。它能够达到超过1000 °C的峰值温度，非常适合快速热退火（RTA）和快速热反应（RTR）等强烈过程。这个RTP单元还提供了液氮冷却机，帮助防止晶片过热和损坏微妙的元素。此外，可旋转的气体入口工具有助于将气体均匀地分布在晶片上，石英液氮密封有助于防止氮气逸出进入腔室。RTA-0208S还包括一个多步骤编程平台,它允许用户创建和管理多个加热、保持和冷却步骤。这种编程功能还使用户能够根据正在处理的晶片的各种沉积特性优化其热处理。此外,此资产还配备了带有直接数据输入功能的直观触摸面板显示屏,以及提供分步操作指导的实时数据显示模型。最后，ULVAC RTA-0208S包括一个在线光发射光谱仪（OES），帮助监测沉积过程中晶圆特性的波动。此功能可确保以最佳的精度和安全性完成过程。此外，OES监测仪可用于监测一系列参数，例如氧气和氢气浓度。这有助于确保晶圆温度和成分保持在所需的范围内。总体而言,RTA-0208S是一款具有许多有用功能的快速散热处理器。其高温能力、液氮冷却设备和多步编程能力使其非常适合各种晶圆加工应用。此外，它的实时数据显示和在线OES监测系统使它成为那些希望确保其热处理过程的准确性和安全性的人的绝佳选择。