二手 ULVAC RTA-6000 #9152945 待售

ULVAC RTA-6000是一种高端快速热处理器,能够通过使用超高速石英加热元件提供精确、可重复和可靠的温度性能。该装置非常适合在广泛的过程中快速热处理，如化学气相沉积、物理气相沉积和快速热退火。RTA-6000具有强大的真空室，由高效涡轮分子泵控制，能够达到极高的真空，污染最小。此外，真空室采用超短石英加热元件，允许快速、精确和可重复的温度控制。由于其优越的温度分布性能，该装置非常适合产生均匀的温度梯度，使其远远优于普通的炉基退火工艺。此外，ULVAC RTA-6000提供了高水平的过程控制和监测能力。它配备了可以设置为自动监控和优化工艺参数的高级控制器，如时间、温度、压力和真空水平。这确保了温度在任何时候都可以在非常狭窄的范围内进行控制，从而允许在常规退火过程中无法达到的精确和可重复的结果。RTA-6000还包括提高安全性和减少污染的功能。它配备了综合化学气相沉积系统，确保腔室不受污染物污染。此外，强大的涡轮分子泵允许极其快速的泵降循环，从而最大限度地减少暴露于危险蒸气的时间。总体而言，ULVAC RTA-6000是广泛加工应用的理想选择，如化学气相沉积、物理气相沉积和快速热退火。其精确的温度控制能力，加上其安全特性，使其成为那些需要风险最小的可重复热处理的人的绝佳选择。