二手 UNITEMP RTP-1000-150 #293642647 待售

UNITEMP RTP-1000-150是一种快速热处理器（RTP），旨在为晶圆提供可靠、可重复和精确的热处理。RTP-1000-150是一个单晶圆工艺室，允许在半导体制造过程中快速和精确的温度控制。UNITEMP RTP-1000-150能够处理直径不超过4英寸的晶圆,温度精度为0.1°C。流程配方通过用户友好的图形用户界面创建,并存储在内部硬盘驱动器中。该设备采用八点斜坡扫描技术，能够对每个晶片进行严格的过程控制和可重复的结果。腔室内部加热至1250 °C的最高温度，与氮、氙和氦兼容。RTP-1000-150是为安全而设计的，具有红外安全互锁机构和止回阀，以确保在紧急情况下的安全壳。该系统还具有一个泄漏断裂阀，以帮助调节单元压力和避免从腔室泄漏。UNITEMP RTP-1000-150持续监测腔室压力和温度，并可设置为报告任何偏离预定限制的情况。RTP-1000-150是为促进易用性而设计的,具有直观的用户界面和集成的冷却器,以确保每个晶圆都能快速冷却。该工具设计可靠，不锈钢部件和整体石英腔室。密封的不锈钢加热元件保证了均匀彻底的热过程。UNITEMP RTP-1000-150配有各种配件和选项，旨在确保最大程度的灵活性和便利。其中包括自动晶圆传输资产、条形码读取器以及将处理配方导出到外部控制器的选项。该型号还与可选的排气控制器兼容，允许在处理过程中快速回填和疏散腔室。RTP-1000-150是一款先进的快速热处理器,可提供高精度、可重复的处理结果。UNITEMP RTP-1000-150具有高达1250°C和0.1°C的温度精度,可提供灵活和最佳的半导体生产能力。