二手 WAFERMASTERS SAO 302LP #293668218 待售

WAFERMASTERS SAO 302LP是一种快速热处理器（RTP）。它旨在提供各种工业应用中的精确温度控制和温度均匀性。该设备是一系列晶圆工艺的绝佳选择，包括发光二极管（LED）生产、光伏（PV）器件生产和热退火。SAO 302LP能够以高达每秒500°C的速度快速可靠地上升到3,000°C的温度。它配备了先进的温度控制器，提供对0.01 °C的精确控制。此外，该系统能够从晶圆到晶圆高度均匀且可重复到0.3°C以内。这种高精度使得WAFERMASTERS SAO 302LP一系列热过程的理想选择。该单元包括一个针对蚀刻和扩散过程进行优化的不锈钢真空室。腔室由坚固的框架支撑，并配有高效氧气洗涤器，以清除残留气体。为方便起见，室盖可以很容易地从前板打开和关闭。SAO 302LP机设计安全,操作方便.它具有多种安全功能，包括过温保护和过压保护。该工具还能够提供关于资产性能的反馈，例如温度均匀性和温度精度，以及一些额外的诊断能力。WAFERMASTERS SAO 302LP是一种理想的快速热处理器,适用于各种精确、受控的工业加工。它结合了速度、准确性和可靠性,为各种热过程提供了高效、经济高效的解决方桉。该型号具有强大的设计、精确的温度控制和众多的安全功能,是LED和光伏设备生产、热退火等工业应用的理想选择。