二手 AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200 #9360790 待售

AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200
ID: 9360790
晶圆大小: 8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 8".
AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200是一种基于等离子体的反应器,旨在控制和操纵各种气体的特性。它是一个高性能反应堆,能够产生广泛的高能粒子和单线态氧,使其成为各种研究和工业应用的诱人选择。MPS-200是一种适合实验室使用的低压、中功率、直流电(DC)操作的反应堆。它配备了电弧源和阳极电源两个独立的电源系统;既可调节又可单独调节。弧源电源可产生高达200安培的交流电(AC),并包含手动和数字调整的规定,以达到所需的工作条件。阳极电源可以设置到200伏和50安培(DC),并包含调整以调整阳极和O原子电流。内部AGS等离子体系统MPS-200采用三级扩散泵,气体流量高达每分钟12升。前两个阶段旨在确保进气以均匀、均匀的方式进入系统。第三级由高温加热线圈组成,以保证反应堆加压。整个加压和气流配置可以根据反应物材料和温度和压力的实验要求进行调整。MPS-200有一系列附件,包括各种探头、采样器、挡板和夹具,以控制系统的设计和操作。它还包含一个用于捕获挥发性副产品的冷陷阱和一个用于分离热物质的加热镜。此外,还设计了AGS等离子体系统MPS-200,以接受各种类型的取样和光谱分析连接。安装和使用MPS-200非常简单,具有用户友好的控件和用于温度、压力和电源读数的数字显示器。AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200还具有用于远程监控和数据采集的串行端口,以及包括温度限制开关、压力限制开关和过载保护开关在内的安全功能。总体而言,MPS-200是一个强大而可靠的实验室反应堆,为用户提供各种气体处理操作的精确控制和灵活性。该系统的强大的附件和先进的安全功能进一步补充了该系统的能力,确保AGS PLASMA SYSTEMS MPS-200随时可以面对它可能遇到的任何挑战。总之,它是在任何既定的研究或工业环境中拥有的极为宝贵的工具。
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