二手 AIXTRON 2000 HT #9408163 待售
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ID: 9408163
优质的: 1997
MOCVD System
Nitride (GaN)
Planetary reactor
Gas foil rotation
Throughput: 7"x2"
EBARA Dry pump
PC Controller
Source configuration:
TMG
TMA
Cp2MG
TEG
TMI
TMSb
1997 vintage.
AIXTRON 2000 HT是一种先进的高温CVD反应器，设计用于多种材料的沉积。它有一个先进的多区真空室，能够达到高达1000摄氏度的温度。2000 HT用途广泛,可用于多种CVD工艺,包括裸晶片沉积、保形涂层等。它还对每个区域都有独立的区域控制和温度控制。AIXTRON 2000 HT由强大的电子-回旋共振（ECR）等离子体源供电。这个强大的源代码提供了良好的均匀性和可重复性，同时也给了腔室极快的启动时间。该腔室还能够利用氢气产生等离子体，这对于碳化硅沉积等电子应用很重要。2000 HT还配备了多种可用于材料沉积和回收的电子束源。AIXTRON 2000 HT还具有液压装载机，可安全高效地装卸晶圆。这对于需要大量晶片或需要频繁更换晶片的应用尤其有用。该设备还具有多种安全功能，包括高压和低压联锁和压力监测，以防止室内意外的压力超载。2000 HT还提供了广泛的附件和软件支持。这些选项扩大了系统的能力，使反应堆在不同的应用和过程中更容易利用。该软件还允许用户轻松监控和控制系统运行，包括等离子体源和腔室压力，以及每个区域的温度。总体而言,AIXTRON 2000 HT是一个功能强大、用途广泛且可靠的CVD单元,非常适合各种CVD过程。它是一种易于使用和维护的机器，其广泛的可用软件和选项使它更加方便用户和能干。
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