二手 AIXTRON 2400G3 HT #9225627 待售

AIXTRON 2400G3 HT反应堆是为太阳能/光伏市场生产的水平直列式薄膜沉积。它是专门为方便制造高质量、批量生产的太阳能电池而设计的。它采用先进的薄膜沉积技术，使杂质和聚硅层的有效网络得以沉积。AIXTRON 2400 G3-HT Reactor具有先进的计算机控制（CPC）设备,该设备向各种工艺室发送信号,以便将均匀的薄膜沉积在大型基板上。它有四个加热元件，非常精确，并提供精确的温度设置，以确保一致的处理。2400 G3 HT反应堆上的工艺室具有自动工艺监控（APM）功能,用于在生产过程中维护工艺参数。先进的CPC代码允许2400G3 HT反应器精确监控诸如薄膜厚度、沉积速率和温度等参数。CPC代码可确保薄膜沉积之间的可重复性,从而使产品具有一致的性能水平。CPC代码还使AIXTRON 2400 G3 HT反应堆能够对沉积参数进行调整，以适应不断变化的制造要求。2400 G3-HT Reactor的设计目的是为浮区电池-FZC工艺执行各种工艺。此过程包括退火、氧化、杂质掺杂、磷加成、欧姆接触和后钝化层。先进的自动化过程监测（APM）系统使AIXTRON 2400G3 HT反应堆无需技术人员即可自动进行沉积过程。AIXTRON 2400 G3-HT Reactor包括三个可以单独设置的工具集来处理不同的层。这使得2400 G3 HT反应堆可以在不同的过程之间轻松切换，而不必停止反应堆单元。还提供了一个完全集成、自动化和受控的激光辅助加工机，以提高沉积过程的准确性。2400G3 HT反应堆是生产高质量、量产太阳能电池的有力工具。其先进的沉积技术使均匀的薄膜能够沉积在大型基板上。它的自动化过程监控工具可确保薄膜沉积与灵活处理工具之间的可重复性,从而方便地切换过程。AIXTRON 2400 G3 HT反应堆保证高质量和市场领先的太阳能电池。