二手 AIXTRON 2400G3 HT #9238884 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一种6英寸水平等离子增强化学气相沉积（PECVD）工具，设计用于生产高温半导体级薄膜器件。它是一个高效、多用途的高温系统，在电介质、金属、磁性和有机层的生产方面有着良好的记录。AIXTRON 2400 G3-HT具有高通量、低库珀开销和优越精度的独特组合,非常适合MEMS、薄膜太阳能电池和OLED生产中的大批量制造。2400 G3 HT配备了三台先进的等离子体发电机，可实现优越、可重复和可重现的过程控制。该反应堆提供高达6英寸的半标准和HPF配方、一个额外的烘焙选项以及获得专利的AIXOX-PREPEAK等离子体导流器。高达1000 °C的单晶片高温能力提供了广泛的可用沉积材料。反应堆的独特软启动和软暂停技术保证了整个晶片的均匀性和合规性，并消除了潜在的无粒子问题。2400 G3-HT还提供各种自动化工艺,如薄膜厚度、薄片电阻和反射率测量,以及用于优化和控制高温沉积工艺的其他工具。高级诊断工具,包括光谱发射分析,有助于确定沉积参数,如厚度均匀性和工艺可重复性,以优化结果。此外，2400G3 HT允许应用高通量高温工艺（THPTs），如单片处理、卷对卷和带对带处理，以及批处理和毯子处理。事实证明,这对于提高吞吐量极为有用。总体而言，AIXTRON 2400 G3 HT是生产高温半导体级薄膜的理想系统。它结合了卓越的过程控制、高效和广泛的能力范围,帮助行业专家优化上市时间并降低成本。