二手 AIXTRON 2400G3 HT #9254484 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一种高温3区感应耦合等离子体反应器。它设计用于先进的沉积过程，如氧化物、III-V化合物和金属薄膜的生长。该反应堆具有独特的三区布置，使其非常适合高温过程。这三个区域包括：源室、熔炉和等离子体室。源室是过程中的第一步，将加热的原料放置在石英crucibles中，然后引入真空室。当产生真空时，由于没有空气，室内会达到极高的温度。源腔内温度可达1800°C。其二是crucible stage，位于源室正下方。在这里，材料被感应加热熔融。然后在等离子体室中进一步加热这种熔融材料。在这里，温度可以在750°C-2000°C之间，这取决于所使用的材料。等离子体室，是过程中的第三个也是最后一个阶段。其中，等离子体是通过从外部源引入气体而产生的。腔室还包含一个电感线圈，然后用来进一步提高等离子体的温度。它还允许对基材进行加热和预清洗，以确保它准备好接收沉积的材料。AIXTRON 2400 G3-HT反应堆比其他反应堆具有许多优势。它具有很高的效率，因为它能够达到比其他反应堆更高的温度，这反过来又增加了沉积速率。它也是精确的，因为它能够以很高的精度和均匀性沉积厚度很小的材料。此外，它具有成本效益，因为它比其他反应堆更快，从而降低了材料成本和人力成本。总体而言，2400 G3 HT是一种用途广泛且可靠的反应堆，具有广泛的工具和能力。它是各种沉积过程的完美解决方桉，因为它能够以比传统反应堆更快的速度实现极高的温度，而且精确度足以以高精度和均匀性沉积材料薄膜。