二手 AIXTRON 2400G3 HT #9254485 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一种高温垂直涡流增强CVD反应器，用于涂覆各种基板，用于显示和电子设备应用。该设备采用革命性的高温沉积技术，采用热墙衬里和EK-气源。AIXTRON 2400 G3-HT采用单盖设计,可通过侧面铰链门轻松访问系统。主要成分为石英反应物喷射器、反应室、底物加热段和气体废气。喷射器将原料气体输送到反应室中，反应室中的工艺温度可从-10°C到1250 °C不等。气体反应物反应形成所需的沉积化合物后，通过温度控制的加热段将它们输送到基质上。加热部分允许均匀的热量分布。为了废水管理和排放控制，排气口装有化学气味洗涤器。2400 G3 HT专为可扩展性和灵活性而设计,允许广泛应用程序的流程开发。该装置的技术还实现了可扩展的低温沉积过程，允许使用脉冲和连续气体输送来制造薄膜和大面积沉积。2400 G3-HT还配备了顶级安全卫生措施，包括安全气体关闭、爆炸分流关闭和机器病毒过滤机。该工具与氮气、氙气、氧气和其他环境友好型气体兼容，使其非常适合广泛的沉积。2400G3 HT对于那些寻找高温沉积溶液的人来说是一个很好的解决方桉。利用先进的技术和高效的气体消耗，该资产提供了成功的工艺开发和沉积所需的可靠和可重复的结果。