二手 AIXTRON 2400G3 HT #9395960 待售

AIXTRON 2400G3 HT是一种高效、大面积、封闭笼式化学气相沉积（CVD）反应器。该反应器适合在直径达200毫米的晶圆上沉积各种材料，如金属、氧化物和氮化物。它具有三室构型，具有最优反应堆构型的灵活性，包括：负载锁定启动室、工艺室和后处理室。主室设有一个垂直沉积过程区，并直接查看石英反应堆窗口，并附有一个快门，用于监测沉积过程。一个陶瓷涂层的淋浴头从腔室加热的下部延伸，用于分散反应物气体，并在过程启动和关闭时清除腔室。反应物气体通过位于腔室侧面的高纯度、狭缝型气体喷射器引入过程。AIXTRON 2400 G3-HT装有两个高科技温度控制系统：一个热电冷却/加热装置，提供10°C至600°C的温度控制和一个红外辐射加热系统。这与一个内部机械控制系统相结合，该系统可以旋转晶圆架，在整个半径较大的可加工晶圆直径上提供均匀的加热和冷却。反应堆还具有高度的加工灵活性，易于安装的插件为各种晶圆尺寸提供了灵活的生长条件。这些插件也可用于存在热膨胀不匹配问题的基材。此外，射频和直流电源提供了良好的工艺和沉积再现性。2400 G3 HT的设计考虑到安全性。它具有一个可冲洗和工艺容许的排气轴，在真空下可靠的操作。气体喷射器的设计是为了防止污染和尽量减少过程气体从主室的逸出。它还包括静态键合和广泛的接地，从而对粒子行为进行安全有效的控制。此外，反应堆采用互锁和PLC系统来控制进入密室的通道，以确保人员安全。总体而言，AIXTRON 2400 G3 HT反应堆是工艺密集型应用的先进可靠解决方桉。它的大面积配置允许金属、氧化物和氮化物广泛的晶圆应用，同时提供可靠的工艺监控和均匀的加热和冷却。此外,2400G3 HT的设计考虑了安全性和过程控制,提供了高级功能,如运动干扰器和RF电源。