二手 AIXTRON 2600 G3 #9031068 待售

AIXTRON AIX 2600 G3是一个远程等离子源反应堆。这种用于半导体和微电子生产的最先进的解决方桉，旨在对包括硅、的、砷化的和其他III-V基材在内的各种材料进行高精度处理。它具有获得专利的C2沉积技术，允许化合物在寒冷的环境中沉积在底物上。AIXTRON AIX 2600G3由许多组件组成：高真空室、工艺气体设备、涡轮分子泵、电容器和射频能量发生器。超高吸尘室采用不锈钢制成，经ISO 5清洁认证。该工艺气体系统由可用于从其他来源或一种气体沉积材料的双质量流量控制器控制。涡轮分子泵确保腔室的压力保持在1 x 10-6和2 x 10-5 mbar之间。电容器是AIX 2600 G3最重要的部件；它储存能量，然后以调节的方式释放到反应堆源，允许工程师以精确的方式控制薄膜生长。最后，射频能量发生器负责产生正弦高频能量。所有这些组件都可以精确控制沉积过程,确保达到所需的薄膜厚度、均匀性、化学计量和纯度。AIX 2600G3还具有高达每小时12个晶圆平台的高吞吐量，使其成为一种经济高效且可靠的生产工具。此外,该单元还具有一个便于过程控制的集成测量机。最后，AIXTRON AIX 2600 G3是一种先进的远程等离子体源反应堆，旨在促进各种材料的沉积，用于半导体和微电子制造。其尖端部件，如其双质量流量控制器、涡轮分子泵、电容器和射频能量发生器，允许精确的过程控制，以达到理想的效果。此外,其高吞吐量和集成的测量工具使其成为高效可靠的生产工具。