二手 AIXTRON 2600 G3 #9299680 待售

AIXTRON 2600 G3是用于半导体和LED制造工艺薄膜沉积的最先进的反应器。它提供了一系列的创新功能，允许生产具有优越性能的大面积胶片。AIXTRON 2600G3能够进行多种沉积技术，包括化学气相沉积（CVD）和等离子体辅助CVD（PECVD）。最多可容纳3座反应堆，使其适合多反应堆过程。该系统还具有广泛的波长范围和对先进纳米结构沉积的精确波长控制。反应堆附有各种气体输入，允许量身定制的过程气体流动以获得最佳薄膜生长。三座反应堆设有单独的加热区，用于精确的基板加热。该系统还提供基于AIXTRON专有的现代化PID方法的尖端自动调谐算法，以提高准确性和可重复性。2600 G3的腔室采用高度耐用的不锈钢制成，以确保可靠性和清洁度。所有系统都是压紧的，具有优异的无漏性能，所有部件都是耐温的，允许长期稳定运行。该室还设计为便于出入和维护，设有中央检修门和综合清洁口。2600G3是最先进、用途最广泛的薄膜沉积工具之一。它通过灵活的设计和尖端的特点提供了多种具有最佳工艺条件的沉积技术。它非常适合各种基材和在半导体制造中的应用。