二手 AIXTRON 2600G3 IC #9188592 待售

AIXTRON 2600G3 IC是来自AIXTRON的一种先进沉积工具，用于将高质量的薄膜材料沉积到基板上。该工具由真空室、反应室和源室组成。其设计特点是获得专利的多线网格和提供无与伦比的均匀性和灵活性的气体注入设备。工具的主要部件是真空室，用于从10-7 Torr创建真空。腔室的底压小于10-9托。该室配有调节窗和安全罩。这是用来确保腔室在各种压力和温度范围内操作安全。2600G3 IC的反应室是具有6"宽乘24"高石英窗的垂直反应器室。它能够达到高达2000 °C的温度，并得到高精度运动控制器的支持，以便在加工过程中精确定位基板。这也得益于集成的镜面-注入屏蔽系统，它为基板提供了极其精确的运动控制。该室还有一个特殊的气体喷射装置，提供均匀的气体喷射，以提高沉积膜的质量。AIXTRON 2600G3 IC的源室是材料最初准备沉积的地方。这个腔室的温度范围为-50 °C至1000 °C，可以通过工具的高级软件进行控制和监控。该室还配备了专门设计的多线栅格机，提供高质量、可复制的薄膜生长。总体而言,2600G3 IC是一种高度先进的沉积工具,可提供无与伦比的胶片均匀性、灵活性和高质量的胶片。它是多种薄膜沉积应用的理想选择，包括氧化物、金属和其他薄膜材料的沉积。