二手 AIXTRON AIX 200 / 4RFS #293636224 待售

AIXTRON AIX 200/ 4RFS反应堆是由AIXTRON GmbH开发的高度精密的设备。它被设计用于生产半导体晶圆和其他基于复合材料的光电元件。AIX 200/ 4RFS系统基于最先进的钟罐型单元，将反应物注入钟罐。然后用高达4,000 °C的气体燃烧将反应物加热到所需温度。一旦达到所需温度，机器就会在反应室内产生高真空。这允许反应物在尽可能低的压力下反应，从而为化学反应提供了最佳环境。反应温度和压力可以针对任何给定的反应过程进行精确的控制和优化。为确保高质量和均匀晶片，AIXTRON AIX 200/ 4RFS工具能够输送各种原料材料，如硅烷、氢气、膦和其他类型的前体气体。反应堆还能够快速热退火，在此过程中晶圆暴露在高温下，以便于半导体材料的重新分布和优化。AIX 200/ 4RFS资产还具有集成的光学监控模型,可在生产运行期间提供无与伦比的精度。光学监测设备能够检测任何不希望得到的材料或反应副产物，并能实时向操作员发出这些问题的警报。这使操作员能够快速调整流程，以确保最高质量的结果。此外，AIXTRON AIX 200/ 4RFS反应堆的设计考虑到了最大的安全性和安全性。反应堆系统采用计算机控制的可编程锁定装置，以确保没有未经授权进入机器。该工具还设计有紧急关闭资产，在发生危险情况时自动关闭反应堆。AIX 200/ 4RFS反应堆是一个革命性的模型，提供一流的性能，安全性和可靠性。其精确控制反应温度和压力的能力，以及集成的光学监测设备，使其成为生产半导体晶片和其他光电元件的理想之选。凭借AIXTRON AIX 200/ 4RFS反应堆，AIXTRON GmbH再次展示了其为客户提供优质解决方桉的承诺。